超高真空 走査型トンネル顕微鏡(JEOL JSTM-4610) + MK2-A810 SPM controller
超高真空 双探針低温走査型トンネル顕微鏡(JEOL JSTM-4500XT) + MK3-PLL SPM controller + LEED-AES BDL600IR
超高真空 走査型トンネル顕微鏡(JEOL JSTM-4610) + LEED-AES BDL800IR
その他:大気圧原子間力顕微鏡、水素エッチング装置、大気圧四探針抵抗測定